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芯片测试中,soft fail是什么?

时间:2025-11-05 19:47来源:学芯屋 作者:ictest8_edit 点击:

 

在芯片测试中,Soft Fail(软性失效) 是一个既常见又关键的失效类型,尤其在晶圆级测试(CP)和成品测试(FT)中经常出现。下面我们从定义、特点、成因、与硬失效的对比、测试策略及实际案例等方面进行系统讲解。
  
Soft Fail(软性失效)指的是:
 
芯片在测试过程中出现功能或电性上的异常表现,但这种异常具有间歇性、不稳定性或在特定条件下才能复现,不是永久性的物理损伤。
 
换句话说,它并不是由于器件“坏掉了”,而是表现出了“不可靠”、“边缘不稳”或“条件性失败”的行为。
 
 
特征
 
 
说明
 
 
❗ 间歇性
 
 
同一测试项目,有时fail,有时pass
 
 
 
 
多次重复测试结果不一致
 
 
 
 
在某些温度、电压、频率条件下才fail
 
 
 
 
接近设计或测试规范的临界值,如setup time margin不足
 
 
 
 
通常不能用简单的物理手段找出原因
 
 
 
类型
 
 
表现形式
 
 
功能异常
 
 
某些功能测试时,偶尔出错,例如逻辑计算错误、数据跑飞
 
 
Scan Fail(可变)
 
 
Scan Chain 中间歇性 pattern fail
 
 
BIST Fail(漂移)
 
 
内存BIST在多次运行中部分pattern偶尔fail
 
 
IDDQ Fail(边界)
 
 
静态电流接近但略高于Spec
 
 
时序边界Fail
 
 
在某些频率条件下fail,降频后又正常
 
 
 四、Soft Fail 产生的原因
 
 
分类
 
 
原因举例
 
 
设计边缘
 
 
时序设计裕度不足,setup/hold 边界触发
 
 
工艺波动
 
 
晶体管 Vt 漂移、线宽、掺杂等工艺参数浮动
 
 
ESD或氧化物应力
 
 
在CP后或packaging过程产生边缘性损伤
 
 
环境因素
 
 
高温、低压、温漂等条件下电路稳定性变差
 
 
测试仪器干扰
 
 
ATE测量精度、探针不稳定或信号干扰等
 
 

五、Soft Fail vs Hard Fail


 
对比项
 
 
Soft Fail
 
 
Hard Fail
 
 
是否永久性
 
 
否(可恢复)
 
 
是(物理损坏)
 
 
表现
 
 
不稳定,偶尔fail
 
 
稳定fail
 
 
复测结果
 
 
有可能pass
 
 
一定fail
 
 
原因
 
 
边界问题、偶发缺陷
 
 
金属开路、短路等不可修复问题
 
 
定位难度
 
 
高(依赖环境和margin)
 
 
低(直接可测)
 
 
 Margin 测试

利用不同电压/频率/温度进行扫频,判断失效是否受条件影响。
 
重复测试(Retest)

检测 fail 的一致性,排除偶发干扰。

多站点统计分析
 
观察 soft fail 是否集中在特定 wafer 或 die 区域。

筛选策略(如Burn-in)

让潜在问题暴露出来,提前淘汰。

降Bin管理

将soft fail产品分入性能稍低的bin(降频/低温/低电压出货)。

七、Soft Fail 的典型应用与处理举例

 


案例1:SRAM MBIST Pattern Fail


只在高温+高频+低压条件下fail。


降频后通过,属于典型的soft fail。


处理方式:定义为低速bin出货,或加Burn-in筛选。

案例2:CP测试中IDDX fail但FT pass


说明晶圆阶段的fail可能由探针污染、接触不稳导致。

Retest pass → 判定为soft fail,按规则决定是否放行。

案例3:逻辑Scan Chain某pattern间歇性fail


复测或Scan Diagnosis可定位某触发器敏感。


属于timing边缘问题,需配合STA重新评估。


 
 
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