在芯片测试中,Soft Fail(软性失效) 是一个既常见又关键的失效类型,尤其在晶圆级测试(CP)和成品测试(FT)中经常出现。下面我们从定义、特点、成因、与硬失效的对比、测试策略及实际案例等方面进行系统讲解。Soft Fail(软性失效)指的是: 芯片在测试过程中出现功能或电性上的异常表现,但这种异常具有间歇性、不稳定性或在特定条件下才能复现,不是永久性的物理损伤。 换句话说,它并不是由于器件“坏掉了”,而是表现出了“不可靠”、“边缘不稳”或“条件性失败”的行为。
四、Soft Fail 产生的原因
五、Soft Fail vs Hard Fail
Margin 测试 利用不同电压/频率/温度进行扫频,判断失效是否受条件影响。 重复测试(Retest) 检测 fail 的一致性,排除偶发干扰。 多站点统计分析 观察 soft fail 是否集中在特定 wafer 或 die 区域。 筛选策略(如Burn-in) 让潜在问题暴露出来,提前淘汰。 . 降Bin管理 将soft fail产品分入性能稍低的bin(降频/低温/低电压出货)。 七、Soft Fail 的典型应用与处理举例
案例1:SRAM MBIST Pattern Fail只在高温+高频+低压条件下fail。 降频后通过,属于典型的soft fail。 处理方式:定义为低速bin出货,或加Burn-in筛选。 案例2:CP测试中IDDX fail但FT pass说明晶圆阶段的fail可能由探针污染、接触不稳导致。 Retest pass → 判定为soft fail,按规则决定是否放行。 案例3:逻辑Scan Chain某pattern间歇性fail复测或Scan Diagnosis可定位某触发器敏感。 属于timing边缘问题,需配合STA重新评估。 |





